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ESS ReacTorr-V真空过程监控的紧凑型质谱系统

产品介绍

专用于监测真空处理,如真空加热处理,太阳能电池板制程等

配备全自动进样端口,可不中断或不干预式监测整个过程

可以直接与真空腔室耦合连接

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工商信息

企业名称

东南科仪

企业类型

信用代码

91440101731554007L

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成立日期

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